03游离磨料线锯切割技术是目前单晶硅切片的主要加工方法。
04研制了一种新型环形电镀金刚石线锯,介绍了锯丝基体的制备及锯丝电镀工艺。
05随着晶体尺寸的增大和切片质量要求的提高,固结磨料金刚石线锯的研制引起高度重视。
06由于线锯切割具有切片薄、表面翘曲变形小、厚薄均匀和切口损失小等优点,被广泛用于单晶硅切片加工。
07分析了超声波线切割机床的加工原理和线锯在导向轮中的传播特性,建立了等截面弯曲杆的纵振动方程及其通解。
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